WWW.KONF.X-PDF.RU
БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА - Авторефераты, диссертации, конференции
 

Pages:   || 2 |

«МЕТОДЫ МОДЕЛИРОВАНИЯ СБИС С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПОЛУНАТУРНОЙ МОДЕЛИ МОП-ТРАНЗИСТОРА ...»

-- [ Страница 1 ] --

На правах рукописи

Денисенко Виктор Васильевич

МЕТОДЫ МОДЕЛИРОВАНИЯ СБИС

С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПОЛУНАТУРНОЙ МОДЕЛИ

МОП-ТРАНЗИСТОРА

05.27.01 — «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника, приборы на квантовых эффектах»

Автореферат

Диссертации на соискание ученой степени



доктора технических наук

Таганрог - 2010

Работа выполнена в Технологическом институте ФГАОУ высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" в г. Таганроге, на кафедре теоретических основ радиотехники.

Научный консультант доктор технических наук, профессор Попов Вадим Петрович (ТТИ ЮФУ, Таганрог)

Официальные оппоненты: доктор технических наук, профессор Петросянц Константин Орестович (МИЭМ, Москва) доктор технических наук, профессор Филатов Николай Иванович (Ментор Графикс, Москва) доктор технических наук, профессор Рындин Евгений Адальбертович (ТТИ ЮФУ, Таганрог)

Ведущая организация: ФГУП НИИМА «Прогресс» (Москва)

Защита состоится ______________ 2010 г. в ____ часов на заседании диссертационного совета Д 212.208.23 Южного федерального университета по адресу:

Ростовская область, г. Таганрог, ул. Шевченко, 2, ауд. Е-306.

С диссертацией можно ознакомиться в зональной библиотеке Южного федерального университета.

Автореферат разослан "____" _________________ 2010 г.

Ученый секретарь диссертационного совета Старченко И. Б.

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность проблемы Безошибочность проектирования СБИС во многом определяется достоверностью используемых компактных моделей МОП-транзисторов. Однако достоверность современных моделей ограничивается их сложностью, приводящей к множеству ошибок, которые невозможно обнаружить в процессе разработки и верификации модели. Количество ошибок, вносимых в модель в процессе ее разработки и эксплуатации, определяется числом допущений, принятых при синтезе модели, числом параметров модели и объемом программного кода. Ни один из перечисленных источников ошибок невозможно ослабить, используя традиционный подход к построению компактных моделей, основанный на упрощении фундаментальной системы уравнений полупроводника. Многочисленные попытки решить данную проблему в рамках традиционного подхода породили более сотни моделей, однако проблема достоверности остается нерешенной. Каждая новая модель во время эксплуатации обнаруживает наличие грубых ошибок, не выявленных в процессе ее верификации. Со временем острота данной проблемы растет, поскольку с уменьшением размеров транзисторов увеличивается число новых физических эффектов, которые должны быть учтены в модели. Как следствие, растет число параметров модели, сложность их идентификации и объем программного кода. Поэтому по мере совершенствования технологии СБИС достоверность компактных моделей падает.

Попытки решить проблему достоверности путем упрощения модели привели к созданию табличных компактных моделей, которые, как показали многочисленные исследования, имеют такие недостатки, как проблемы с монотонностью кривых, точностью высших производных, а также большой объем хранимых данных, невозможность регулировки параметров и др.

Из теории подобия и моделирования известно, что наибольшую точность и достоверность имеют натурные* модели, в которых вместо математических зависимостей используется натура (т.е. сам исследуемый объект). В этом случае моделирование вплотную приближается к натурному эксперименту, чем и объясняется высокая достоверность и точность этого метода.

Применительно к задаче моделирования СБИС натурная модель может быть построена на основе реального транзистора, изготовленного по той же технологии, что и проектируемая СБИС. Благодаря тому, что такой транзистор весьма близок к объекту моделирования, а параметры модели оказываются частично "встроенными" в реальный транзистор в процессе его изготовления, резко падает сложность модели, поскольку полунатурная модель практически не требует принятия допущений при ее синтезе, написания программного кода и идентификации параметров. Применение реальных транзисторов для моделиВеников В.А. Теория подобия и моделирования. - М.: Высшая школа, 1976. - 479 с.





рования электрических цепей широко использовалось до компьютерной эры в форме макетирования, а в настоящее время применяется в виде тестовых кристаллов, используемых для проверки функционирования отдельных фрагментов будущей СБИС.

Однако реальный транзистор в качестве своей собственной модели не может быть использован при моделировании СБИС, поскольку он не может быть настроен на моделирование всех транзисторов СБИС, не позволяет моделировать динамику и не может быть встроен в стандартные SPICE-подобные программы моделирования.

Поэтому возникает задача разработки новых методов моделирования СБИС, совместимых с современными методами проектирования и допускающих применение реального транзистора (т.е. идеи натурного моделирования) в качестве основы построения компактной модели МОП-транзистора.

Сама идея применения реального транзистора для моделирования ИС была высказана автором совместно с В.П.Поповым и Н.И.Мережиным достаточно давно [32], однако ряд крупных научных проблем, таких как регулировка параметров, моделирование динамики, разработка аппаратного обеспечения и методологии моделирования оставались нерешенными до настоящего времени.

Цель и задачи диссертационной работы Целью диссертации является повышение достоверности моделирования СБИС путем уменьшения числа параметров, объема программного кода и числа упрощающих допущений, принимаемых при построении компактной модели МОП-транзистора. Повышение достоверности моделирования является крупной научной проблемой, имеющей важное хозяйственное значение.

Для достижения поставленной цели необходимо разработать:

• принципы регулировки параметров полунатурной* модели МОПтранзистора, которые обеспечивают настройку модели на любой транзистор СБИС и учитывают технологический разброс параметров;

• метод идентификации параметров модели;

• методы моделирования динамических процессов с использованием полунатурной модели, нечувствительные к погрешности средств измерений;

• устойчивые схемы сшивания полунатурной модели МОП-транзистора с моделью СБИС;

• методы синтеза специализированного аппаратного обеспечения для полунатурного моделирования и измерения характеристик МОП-транзисторов;

* Полунатурная модель - содержащая одновременно натуру (реальный транзистор) и математические описания.

• архитектуру системы схемотехнического моделирования СБИС и методологию моделирования на основе полунатурной модели.

Методы исследований, достоверность и обоснованность результатов

В работе использованы методы исследования следующих научных дисциплин:

• физика полупроводниковых приборов;

• теория подобия и моделирования;

• полупроводниковая схемотехника;

• функциональный анализ;

• теория автоматического управления.

Достоверность результатов диссертационной работы обеспечена систематическим обоснованием и доказательством основных теоретических положений, а также большим объемом численных и натурных экспериментов, для выполнения которых было разработано специализированное аппаратное и программное обеспечение.

На защиту выносятся:

1) Полунатурная модель МОП-транзистора:

• способ регулировки длины и ширины канала;

• способ регулировки параметров МОП-транзистора, позволяющий учесть их технологический разброс и выполнить статистическое моделирование СБИС;

• алгоритм идентификации параметров по результатам мониторинга технологического процесса;

• метод моделирования динамических процессов в транзисторе при использовании полунатурной модели.

2) Метод синтеза полунатурных моделей полупроводниковых приборов.

3) Методы моделирования СБИС с применением декомпозиции и сшивания подсхем при использовании полунатурной модели МОП-транзистора:

• набор новых сшивающих многополюсников для ускорения сходимости процесса сшивания полунатурной модели МОП-транзистора с моделью СБИС;

• метод обратного динамического оператора для сшивания полунатурной модели МОП-транзистора с моделью СБИС;

• адаптивный сшивающий многополюсник с перестраиваемой структурой.

4) Принципы построения и использования аппаратного обеспечения системы моделирования:

• архитектура системы схемотехнического моделирования СБИС;

• новые схемотехнические решения для аппаратного обеспечения системы моделирования.

5) Методология эффективного применения полунатурного моделирования при проектировании СБИС.

Научная новизна

Следующие научные результаты получены в работе впервые:

• полунатурная модель МОП-транзистора, использующая гибрид математической модели и реального транзистора, применимая в составе современных программ схемотехнического моделирования и отличающаяся тем, что допускает регулировку длины и ширины канала, а также параметров, позволяющих учесть технологический разброс электрических параметров транзисторов СБИС;

• метод идентификации параметров модели по результатам стандартного мониторинга техпроцесса (без измерения вольтамперных характеристик транзисторов, как это необходимо в известных методах идентификации);

• метод моделирования динамических процессов в СБИС с применением одновременно как математических, так и полунатурных моделей, не требующий дифференцирования данных, содержащих шумы, как это необходимо при прямом методе моделирования, использующем матрицу Якоби;

• метод синтеза полунатурных моделей полупроводниковых приборов;

• доказана сходимость и аппроксимация электрической цепи СБИС итерационной схемой при наличии погрешностей измерений;

• архитектура системы схемотехнического моделирования СБИС с применением полунатурной модели;

• методология моделирования СБИС с применением полунатурной модели.

Практическая полезность В результате работы решена крупная научная проблема, имеющая важное хозяйственное значение, а именно, разработан новый метод моделирования СБИС, предназначенный для применения в системах автоматизированного проектирования СБИС и позволяющий на порядок уменьшить число параметров модели, на два порядка - объем программного кода и существенно снизить число упрощающих допущений, что, в итоге, приводит к улучшению достоверности моделирования.

Внедрение результатов Основные научные результаты диссертации (методы декомпозиции и сшивания подсхем для моделирования СБИС и принципы построения аппаратного обеспечения) использованы при выполнении НИР "Рабочая станция схемотехнического проектирования БИС". Разработанное в диссертации аппаратное обеспечение системы моделирования (программируемый логический контроллер, модули аналогового ввода-вывода) внедрено в серийное производство и нашло применение на многих отечественных предприятиях: ФГУП НИИ "Субмикрон" (Зеленоград), Ижевский радиозавод (г. Ижевск), ЗАО НПП "ЭПРО" (Санкт-Петербург) и др., а также в учебном процессе ТТИ ЮФУ.

Личный вклад соискателя Все результаты работы, выносимые на защиту, получены соискателем самостоятельно. Без соавторов опубликовано 90 печатных работ по теме диссертации, включая две монографии.

С соавторами выполнена только работа по проектированию и изготовлению аппаратного обеспечения для постановки экспериментов [17-21, 12, 19, 47, 48, 51, 53, 60], результаты которой не являются результатами диссертационной работы.

Апробация результатов работы

Основные положения и результаты работы были апробированы на следующих конференциях и семинарах:

• всероссийская научно-техническая конференция "Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем». - Москва, ИППМ РАН, 2008 и 2010 г.г.;

• конгресс по интеллектуальным системам и информационным технологиям, секция «Интеллектуальные САПР» (Дивноморское, 1995, 2008, 2009 и 2010 г.г.;

• международная научно-техническая конференция "Микроэлектроника и наноинженерия - 2008" – Москва, МИЭТ, 2008 г.;

• международные конференции "Информационные технологии в науке, социологии, экономике и бизнесе". IT+SE'09. Украина, Ялта-Гурзуф, 1992, 1993, 1997, 2004, 2009, 2010 г.г.;

• всероссийская конференция "САПР-92. Новые информационные технологии в науке, образовании, бизнесе". - Воронеж, 1992 г.;

• международный семинар "Нелинейные цепи и системы", Москва, 1992 г.;

• Всесоюзная конф. "Проблемы развития аппаратных и программных средств ВТ для машинного моделирования", 1987 г.

• 3rd International Design Automation Workshop, Moscow, Russian Chapter of ACM/SIGDA, July 19-20, 1993;

• EURO-DAC'94 with EURO-VHDL'94, 1994, Grenoble, France. – IEEE Computer Society, 1994;

• 1998 Intern. Conf. on Modeling and Simulation of Microsystems, Semiconductors, Sensors and Actuators, April 6-8, 1998, Santa Clara, CA, USA;

• 18th IEEE International Conference on Control Applications. Part of 2009 IEEE Multi-conference on Systems and Control. Saint Petersburg, Russia, July 8-10, 2009.

Сведения о публикациях Основные результаты работы опубликованы в двух монографиях, 30 статьях в российских журналах, рекомендованных ВАКом и в 10-ти зарубежных изданиях. Получено 20 авторских свидетельств на изобретения. Общее число публикаций по теме диссертации составляет 120 единиц.

Структура и объем диссертации Диссертация состоит из введения, 6 глав, заключения и списка литературы из 344 наименований. Объем диссертации составляет 349 страниц, число рисунков - 157.

КРАТКОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

В вводной (первой) главе обоснована актуальность работы, сформулированы положения, выносимые на защиту, дан краткий обзор современного состояния области моделирования МОП-транзисторов. Показано, что основной проблемой современных компактных моделей является низкая достоверность при моделировании транзисторов для глубоко субмикронных и нанометровых технологий, которая определяется количеством упрощающих допущений, принятых при синтезе модели, количеством параметров модели и объемом программного кода.

До появления SPICE-подобных программ моделирования проектирование электронных цепей выполнялось методом макетирования, когда собирался макет электронной цепи, содержащий реальные транзисторы. Позже вместо реальных транзисторов использовались их квазианалоговые модели, построенные с помощью теории подобия и работающие в замедленном масштабе времени. С появлением SPICE-подобных программ интерес к макетированию угас, однако в связи с невысокой достоверностью моделирования многие проектировщики по-прежнему больше доверяют проверке схемотехнических решений непосредственно в кремнии, чем с помощью программ моделирования.

В диссертации для решения проблемы достоверности моделирования используется основная идея макетирования - применение реального транзистора.

Однако попытка воплощения этой идеи в САПР СБИС порождает ряд новых нетрадиционных научных проблем, которые впервые решены в диссертационной работе и вынесены на защиту.

Во второй главе разработаны идеи построения полунатурной модели МОП-транзистора, методы регулировки и идентификации параметров, структура модели и получены основные уравнения.

Практическая полезность работы обеспечивается благодаря следующим особенностям полунатурной модели:

• существенное упрощение этапа идентификации параметров (количество идентифицируемых параметров уменьшено примерно в 10 раз по сравнению с математическими моделями);

• исключение этапа разработки статической части модели как источника ошибок или существенное упрощение модели;

• отсутствие этапа упрощения системы уравнений полупроводника при построении статической части модели (уравнения не используются);

• существенное (на два порядка) уменьшение объема программного кода.

Полунатурной модели свойственны следующие недостатки:

• требуется изготовление и корпусирование набора опорных (реальных) транзисторов, хотя в ряде случаев могут быть использованы те же транзисторы, что и для экстракции параметров математической модели;

• требуется внесение изменений в алгоритм программы моделирования;

• динамический диапазон ограничен соответствующим диапазоном средств измерений.

Достоинствами полунатурной модели является:

• высокая достоверность результатов моделирования;

• полунатурная модель является неограниченным источником информации о транзисторе, в то время как количество информации в математической аналитической или табличной модели фиксировано;

• исключение дорогостоящего и длительного этапа разработки модели для приборов новых конструкций и технологий;

• отсутствие необходимости хранения большого массива данных и возможность уточнения данных в процессе моделирования (по сравнению с табличной моделью).

В основе полунатурной модели лежит набор реальных транзисторов (в частном случае – один транзистор), геометрия которых может выбираться так же, как и для идентификации параметров стандартной математической модели.

Выбор транзистора из набора выполняется с помощью аналогового коммутатора (рис. 1). Измеренные данные вводятся в компьютер с помощью быстродействующего аналого-цифрового преобразователя (АЦП), задание напряжений (или токов) на выводах транзистора в соответствии со схемами измерений осуществляется с помощью цифро-аналогового преобразователя (ЦАП).

Паразитные элементы и модель неквазистатического эффекта в полунатурной модели реализованы программно, как и в стандартных математических моделях (рис. 2).

В диссертации впервые предложены методы регулировки длины и ширины канала ( L,W ), сопротивлений истока, стока, затвора, подложки, параметров модели эффекта близости кармана. Для регулировки длины и ширины канала методом интерполяции изготавливается набор реальных (опорных) транзисторов с разной длиной и шириной канала, как показано, например, на рис. 3. Если транзистор с интересующими разработчика длиной и шириной канала отсутствует в указанном наборе, то при моделировании измеряют токи трех ближайших соседних транзисторов (см. рис. 3) при заданных значениях напряжений и интересующий ток транзистора c заданной длиной и шириной канала находят путем интерполяции.

Рис. 1. Предлагаемая структура полунатурной модели; T - температура; P - вектор параметров модели; WPE – параметры эффекта близости кармана; S - спектральная плотность мощности шума; Qd, Qg, Qb, Qs - заряды, ассоциированные со стоком, затвором, подложкой и истоком; V и I с соответствующим индексами - напряжения и токи выводов В диссертации впервые показано, что для типовой технологии крупнейшей кремниевой мастерской TSMC регулировка длины канала может быть выполнена с помощью линейной интерполяции и набора всего из 8 реальных транзисторов с погрешностью не более ±2,5% в подпороговой области, в диапазоне длин канала от 0,18 мкм до максимально возможной. Как показывают наши численные эксперименты, в линейной области и области насыщения такой выбор размеров восьми транзисторов обеспечивает относительную погрешность не более ±1,2%, что удовлетворяет требованиям ITRS к погрешности моделирования (5%) до 2015 года. Отметим, что в нашем случае речь идет не о случайной погрешности, а о систематической. Случайная составляющая определяется точностью измерительной системы и составляет менее ±0,05% от предела измерений. Общее число опорных транзисторов равно произведению числа транзисторов для регулировки длины и ширины и может составлять порядка 30 шт., что сравнимо с количеством транзисторов для идентификации компактных моделей (26 шт. для модели HiSIM и 24 шт. для модели BSIM).

Загрузка...

–  –  –

Kµ = Kµ0 (1 + VgsVbs ) ; Vgs = V g Vs, Vds = Vd Vs, = 1B - константа; Vth пороговое напряжение. Знаменатель этого выражения позволяет регулировать параметры зависимости подвижности носителей в канале от напряженности вертикального электрического поля. На рис. 4 jd = K sid, где K s = I dss I dssR, где I dssR - удельный (на единицу ширины канала) ток насыщения опорного (реального) транзистора TR, I dss - удельный ток насыщения объекта моделирования (т.е. настраиваемый параметр полунатурной модели);

[ ] eth = Vth + (2 F Vbs )1 / 2 (2 F )1 / 2, где Vth - настраиваемый параметр модели, начальное приближение равно Vth = Vth 0 Vth 0 R ; - настраиваемый параметр модели, начальное приближение равно = R.

–  –  –

ET, где верхним индексом " ET " помечены параметры, полученные в стандартных ET-тестах.

На рис. 5 показаны характеристики полунатурной модели и объекта моделирования, иллюстрирующие высокую точность совпадения характеристик (погрешность, приведенная к верхнему пределу, менее 1%) при использовании предложенного метода регулировки.

Параметры модели могут быть идентифицированы также и по вольтамперным характеристикам объекта моделирования. При этом точность настройки модели на конкретный техпроцесс увеличивается.

Предложенный метод перестройки параметров полунатурной модели пригоден для решения большинства практических задач проектирования СБИС.

Рис. 5. Семейства ВАХ транзистора (жирные точки), технология SCN018, и его полунатурной модели (сплошная линия). Характеристики опорного транзистора показаны пунктиром В третьей главе предложен метод синтеза моделей полупроводниковых структур, сшивающих многополюсников для обеспечения сходимости итерационного процесса сшивания модели СБИС с полунатурной моделью МОПтранзистора и аппаратного обеспечения системы полунатурного моделирования. Метод синтеза основан на нескольких новых топологических преобразованиях электрических цепей, которые позволяют формализовать процедуру синтеза аналоговых электронных схем для полунатурного моделирования.

На рис. 6 приведен пример предложенных в диссертации топологических преобразований управляемого источника тока в цепи, содержащие управляемые источники напряжения; на рис. 7 - управляемого источника напряжения в цепи с управляемыми источниками тока.

–  –  –

Предложенный метод синтеза позволил получить около сотни новых электрических цепей, описанных в диссертации, десять из которых защищены авторскими свидетельствами на изобретения.

–  –  –

В главе 4 описанные топологические преобразования используются для синтеза сшивающих многополюсников, необходимых для решения задачи декомпозиции электрической цепи.

Четвертая глава посвящена разработке математического аппарата для моделирования СБИС с применением полунатурной модели МОП-транзистора.

Предложены новые сшивающие многополюсники и доказана сходимость итерационных процессов при наличии погрешностей измерений. Эффективность метода обоснована теоретически и подтверждена экспериментально.

Для полунатурного моделирования ИС наилучшим образом подходит известный метод релаксации формы сигнала (обобщение метода Пикара) благо

–  –  –

Рассмотренные выше сшивающие многополюсники (СМ), обеспечивающие улучшение сходимости, получены для случая связей, невзаимодействующих между собой. При наличии сильной перекрестной связи необходимо использовать сшивающие многополюсники, учитывающие эту связь. В диссертации приводится анализ условий сходимости и критерии выбора параметров элементов этих цепей.

В работе предложено также несколько новых сшивающих многополюсников для сшивания подсхем "с перекрытием". На рис. 13 приведен пример такого СМ. По сравнению с известными СМ он содержит два новых параметра: и, соответствующий выбор которых позволяет уменьшить коэффициент сжатия оператора при поиске его неподвижной точки.

Рис. 13. Декомпозиция с перекрытием и Рис. 14. Зависимость коэффициента сжатия для СМ на рис. 13 от параметров, расщеплением управляющих связей В диссертации предложен также новый итерационный метод формы сигнала, основанный на аналитическом обращении оператора, приближенно аппроксимирующего произведение операторов Fа (Fb (y (t )) ). Метод позволяет существенно расширить область сходимости методов формы сигнала при сшивании сильно связанных подсхем или уменьшить число итераций до сходимости без использования информации о внутренней структуре подсхемы. Показано, что для быстрого сшивания подсхем достаточно иметь макромодель их входных и выходных цепей. При этом не требуется знать внутреннюю структуру подсхем и находить производную Фреше оператора, описывающего всю подсхему в целом, как это требуется в известном методе WRN.

На рис. 15 приведен пример СМ, использующий обращенный динамический оператор, состоящий из двух емкостей, одного сопротивления и управляемых источников напряжения. На рис. 16 показан график переходного процесса для нескольких итераций при сшивании подсхем. Показано, что выбор параметров обращенного динамического оператора позволяет существенно уменьшить количество итераций до сходимости итерационного процесса.

Рассмотрим пример использования "отрицательного транзистора" для моделирования квадратора (рис. 17). Для моделирования была использована коммерческая программа PSpiceA/D из комплекта MicroSim DesignLab 8.0.

Электрическая схема была набрана в пакете "Schematic", в котором реальные транзисторы помечены как "M1Real...M3Real" (рис. 17). Остальные транзисторы моделировались математическими моделями, встроенными в PSpiceA/D.

Рис. 15. Сшивающий многополюсник, использующий обращение динамического оператора для улучшения сходимости. Управляемые источники являются повторителями

–  –  –

моделирования. Получен ряд новых технических решений, защищенных авторскими свидетельствами на изобретения.

Впервые разработана архитектура аппаратно-программной системы полунатурного моделирования (рис. 20). Здесь "Модель-матем." - математическая часть полунатурной модели; T1... TN - набор реальных (опорных) транзисторов.

Система позволяет использовать реальные транзисторы, территориально расположенные в кремниевой мастерской, находящейся на расстоянии в десятки тысяч километров от разработчика, и транзисторы, имеющиеся в его распоряжении.

Возможность удаленного расположения реальных транзисторов достигается тем, что итерации в методе релаксации формы сигнала выполняются функциями времени, т.е. обмен информацией с реальным транзистором выполняется массивами, а количество таких актов может быть равно числу итераций, т.е.

всего нескольким единицам независимо от размера моделируемой цепи. Это позволяет использовать для обращения к измерительной подсистеме офисную сеть Ethernet, беспроводные сети или интернет с использованием VPN- соединения вида "сеть-сеть" для объединения сети разработчиков с сетью кремниевых мастерских.

В кремниевой мастерской или в другом глобально удаленном месте могут располагаться измерительные системы, подключенные к наборам реальных транзисторов. Каждая измерительная система управляется локальным программируемым контроллером (ПЛК), который предоставляет данные в сеть посредством стандартного OPC-сервера [2]. Предлагаемая архитектура позволяет любому OPC-клиенту (т.е. любой рабочей станции разработчика СБИС) обратиться к любому OPC-серверу (т.е. к любому набору реальных транзисторов), расположенному в любой кремниевой мастерской. В частном случае рассматриваемая архитектура упрощается до компьютера, к которому подключена измерительная система через порт USB или Ethernet.

Рис. 20. Архитектура системы полунатурного схемотехнического моделирования; CMIинтерфейс - программный интерфейс между компактной моделью и программой SPICE Для выполнения измерений на реальном транзисторе предложен ряд новых измерительных цепей с аналоговыми МОП-ключами (см. пример на рис. 21), обеспечивающими адаптацию структуры измерительной цепи к сопротивлению канала измеряемого МОП-транзистора, что необходимо для обеспечения устойчивости или ускорения сходимости в процессе моделирования.

Предложены новые схемы косвенных измерений на основе операционных усилителей (рис. 22), которые обеспечивают измерение напряжения на затворе, а не его задание, как это делается традиционно.

–  –  –

В шестой главе предложена идеология взаимодействия кремниевых мастерских с проектировщиками СБИС, сформулированы основные направления эффективного применения полунатурного моделирования в маршруте автоматизированного проектирования СБИС.

Основные различия традиционного маршрута проектирования от предложенного (с полунатурной моделью) сведены в табл. 1. Отметим, что основным различием между традиционным маршрутом и предлагаемым является существенное (на порядок) уменьшение количества идентифицируемых параметров, необходимость помещения тестовых кристаллов в корпус и передача корпусов с кристаллами разработчику, либо предоставление интернет-доступа к реальным транзисторам. Это усложнение маршрута проектирования выполнено ради повышения достоверности моделирования.

Наиболее эффективно полунатурное моделирование может быть использовано на следующих этапах проектирования СБИС:

• верификация электрической схемы предварительно спроектированной СБИС перед изготовлением комплекта фотошаблонов;

• проектирование фрагментов аналоговых ИС (перемножителей, функциональных преобразователей, дифференциальных усилителей, радиочастотных ИС), требующих высокой точности моделирования нелинейностей транзистора;

–  –  –

В связи с тем, что окончательная верификация модели перед изготовлением комплекта фотошаблонов выполняется с применением полунатурной модели, существенно снижаются требования к точности математической модели. В предельном случае может быть использована математическая модель для сходного техпроцесса, т.е. без ее идентификации после перехода на новый техпроцесс или его подстройки.

Полунатурная модель с точки зрения САПР ничем не отличается от математической компактной модели и ее настроечные параметры хранятся в обычной библиотеке моделей. Однако при обращении к этой модели в процессе моделирования включается в действие измеритель (рис. 23), содержащий набор АЦП и ЦАП.

Полунатурная модель может быть встроена в стандартные системы схемотехнического проектирования путем доработки алгоритма моделирования, который должен использовать метод релаксации формы сигнала для сшивания полунатурной модели транзисторов с математической моделью цепи. В частном случае, при проектировании цифровых СБИС, может быть использован алгоритм SPICE без его модификаций и модуль DeviceEquations из пакета DesignLab/OrCAD.

Рис. 23. Внешний вид разработанного аналого-цифрового устройства для физического подключения набора реальных транзисторов к компьютеру На рис. 24-а показано, как выгладит модель реального транзистора в пакете DesignLab (транзистор U1 RP313_Real) и результат моделирования (рис. 24-б).

Для учета влияния температуры на проектируемую ИС тестовые транзисторы помещают с термостат с заданной температурой. Значение температуры задается из системы проектирования с помощью предложенного в диссертации ПИДрегулятора с автоматической настройкой, новизна которого состоит в использовании измеренной импульсной характеристики объекта моделирования (непараметрической модели) для улучшения динамики процесса регулирования.

Для применения полунатурной модели необходимо изготовить набор реальных транзисторов. Организационно это удобно делать одновременно с проектированием тестовых транзисторов для идентификации компактных моделей.

Могут быть использованы уже изготовленные тестовые транзисторы, если их размеры удовлетворяют задачам проектирования конкретной ИС. Таким обра

–  –  –

зом, данный этап полунатурного моделирования ничем не отличается от традиционного.

Набор реальных транзисторов должен быть помещен в стандартный корпус для удобства подключения к измерительной системе, пример которой показан на рис. 23. Эта необходимость связана с громоздкостью микрозондовой установки, которая используется при измерении параметров транзисторов в традиционном маршруте проектирования.

Вместо рассылки наборов реальных транзисторов разработчикам ИС в кремниевой мастерской может быть организован интернет-доступ к полунатурной модели, расположенной на ее территории (см. рис. 20). Это оказывается возможным благодаря методу РФС с применением метода Якоби, когда функции времени для всех транзисторов одновременно формируются в виде единого пакета данных. Задержки на доставку функций времени через интернет пренебрежимо малы по сравнению с общим временем моделирования.

Область применимости метода ограничена областью применимости стандартной (например, модели BSIM3) математической модели зарядов МОПтранзистора, использованной в полунатурной модели.

Кроме основного назначения - моделирование СБИС с высокой достоверностью, предлагаемый подход может быть использован при проведении экспериментов с новыми типами приборов, для изучения влияния радиации, температуры, вибрации, влажности и других внешних факторов.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Выполнен анализ проблем схемотехнического моделирования СБИС и показано, что основной и крупной научной проблемой, имеющей важное хозяйственное значение, является низкая достоверность современных компактных моделей МОП-транзисторов, причиной которой является множество упрощающих допущений, принимаемых при синтезе моделей, большое число их параметров и большой объем программного кода. Для решения этой проблемы разработан новый метод моделирования СБИС, основанный на применении полунатурной модели и позволяющий на два порядка уменьшить объем программного кода, на порядок - число параметров модели и существенно снизить число и силу упрощающих допущений. В процессе разработки нового метода моделирования получены следующие результаты.

1. Предложена компактная полунатурная модель МОП-транзистора, пригодная для применения в системах автоматизированного моделирования СБИС, отличающаяся тем, что позволяет регулировать длину и ширину канала транзистора, а также учесть разброс параметров техпроцесса. Проблема регулировки длины и ширины канала модели решена путем интерполяции между измеренными данными для набора транзисторов, размеры которых выбираются по специально разработанному алгоритму оптимизации. Для регулировки других параметров используется ряд математических зависимостей.

2. Разработан новый метод идентификации параметров модели, отличающийся тем, что исходными данными для идентификации являются параметры электрического мониторинга техпроцесса, измеряемые в любой кремниевой мастерской в процессе производства, т.е. идентификация параметров не требует изготовления специальных тестовых транзисторов и измерения их характеристик, как это делается в случае математических компактных моделей.

3. Решена проблема моделирования динамики МОП-транзистора путем деления модели на статическую и динамическую части. Динамическая часть моделируется традиционными методами математического моделирования, а в качестве статической части используется специализированная программноуправляемая измерительная система, к которой подключен набор реальных транзисторов (порядка 20 шт.). Благодаря разделению задачи на статическую и динамическую части паразитные емкости измерительной системы не оказывают влияния на точность моделирования.

4. Для сшивания математической модели СБИС с полунатурной моделью МОП-транзистора предложена новая модификация известного метода релаксации формы сигнала (обобщение метода Пикара), в котором итерации выполняются не числами, а функциями времени и неподвижная точка ищется для динамического оператора в банаховом пространстве. Новизна предлагаемой модификации этого метода состоит в применении новых сшивающих многополюсников, обеспечивающих быструю сходимость итерационного процесса и в использовании метода для полунатурного моделирования, при наличии погрешностей измерений. Впервые сформулированы и доказаны условия сходимости и аппроксимации цепи итерационной схемой при наличии погрешностей измерений. Впервые доказано отсутствие накопления ошибок измерений в процессе итераций. Предложен новый итерационный метод обратного оператора в функциональном банаховом пространстве для моделировании электрических цепей, обеспечивающий быструю сходимость итерационного процесса.

5. Впервые предложен метод синтеза схем сшивания полунатурной модели с моделью СБИС, основанный на формализованных топологических преобразованиях электрических цепей. Получен ряд новых сшивающих многополюсников, эффективность которых доказана экспериментально, и ряд новых схемотехнических решений схем измерения и моделирования характеристик транзисторов для построения аппаратного обеспечения системы полунатурного моделирования, защищенных 20 авторскими свидетельствами на изобретения.

6. Впервые решена проблема шумов измерений, которая приводила к невозможности вычисления матрицы Якоби и расходимости итерационного процесса в известных методах моделирования. Проблема решена путем сглаживания сплайном одномерных функций времени, что несравненно более эффективно, чем сглаживание трехмерных данных, как это делается при табличном моделировании. Возможность одномерного сглаживания достигнута благодаря применению метода релаксации формы сигнала для полунатурного моделирования, когда от реального транзистора поступают не разрозненные данные, и непрерывная функция времени.

7. Впервые предложена архитектура системы полунатурного моделирования, которая использует интернет-доступ к реальному транзистору, расположенному в кремниевой мастерской, находящейся в любой точке земного шара.

Высокая достоверность предложенного метода моделирования достигнута благодаря существенному уменьшению числа допущений при построении полунатурной модели (вместо уравнений используется реальный транзистор), снижению на два порядка объема программного кода и на порядок - числа параметров модели.

Достоверность результатов работы подтверждена рядом экспериментов, выполненных с применением программ PSpice, AVOSpice, LTSpice и специально разработанной экспериментальной установки для программно-управляемого измерения характеристик реальных транзисторов. Достоверность метода синтеза схем сшивания подтверждена многочисленными примерами синтеза схем, испытанных экспериментально. Теоретические положения работы обоснованы применением математического аппарата функционального анализа, теории электрических цепей, теории устойчивости, теории автоматического управления.

Практическая полезность работы состоит в уменьшении на порядок числа параметров модели, на два порядка объема программного кода и существенном уменьшении числа упрощений фундаментальной системы уравнения полупроводника, что в итоге приводит к повышению достоверности моделирования и, как следствие, к снижению числа циклов экспериментальной доводки СБИС, уменьшению доли параметрического брака и улучшению технических характеристик изделий. Научная полезность состоит в изменении традиционного взгляда на моделирование СБИС как на исключительно математический метод, а также в обосновании возможности улучшения сходимости итерационных процессов моделирования КМОП СБИС путем предварительного эквивалентного преобразования электрической цепи к виду, который улучшает обусловленность задачи.

ПУБЛИКАЦИИ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИОННОЙ РАБОТЫ

Монографии

1. Денисенко В.В. Компактные модели МОП-транзисторов для SPICE в микро- и наноэлектронике. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2010. - 406 с.

2. Денисенко В.В. Компьютерное управление технологическим процессом, экспериментом, оборудованием. М.: Горячая линия-Телеком, 2009. - 608 с.

Список основных работ в изданиях, включенных в перечень ВАК

3. Денисенко В.В. Перестройка параметров табличных моделей субмикронных МОП-транзисторов // Микроэлектроника. 2010. Т. 39. №4. С. 378-391.

4. Денисенко В.В. Точность и достоверность моделирования МОПтранзисторов СБИС // Микроэлектроника. 2009. Т. 38. №4. С. 302-308.

5. Денисенко В.В. Методы декомпозиции электрических цепей для схемотехнических САПР СБИС // Известия ЮФУ. Технические науки. Тематический выпуск «Интеллектуальные САПР». Таганрог. 2008. С. 74-81.

6. Денисенко В.В. Полунатурная модель МОП транзистора для аппаратного моделирования СБИС // Изв. ВУЗов. Радиоэлектроника. 1997. Т. 40. №1. С. 12-22.

7. Денисенко В.В. Динамическая погрешность многоканальных средств измерений // Измерительная техника. 2009. №1. С. 3-6.

8. Денисенко В.В. Компактные модели МОП транзисторов для СБИС. Часть 1 // Электроника НТБ. 2004. №5. С.76-78.

9. Денисенко В.В. Компактные модели МОП транзисторов для СБИС. Часть 2 // Электроника НТБ. 2004. № 6. С. 60-63.

10. Денисенко В. В. Возможности повышения точности путем многократных измерений // Датчики и системы. 2009. №6. С. 35-38.

11. Денисенко В.В. Разновидности ПИД-регуляторов // Автоматизация в промышленности. 2007. №6. С. 45 - 50.

12. Денисенко В.В., Ерещенко П.В., Кильметов Р.С., Метелкин Е.Е., Халявко А.Н. Модули RealLab! серии NL для тяжелых условий эксплуатации // Промышленные АСУ и контроллеры. 2005. №2. С. 44-49.

13. Денисенко В.В. Моделирование нелинейных емкостей электронными цепями с управляемыми источниками // Радиотехника. 1985. №9. С. 91-94.

14. Денисенко В.В. Устройство для моделирования барьерной емкости р-пперехода // Приборы и техника эксперимента. 1985. №6. С.180-181.

15. Денисенко В.В. Аналого-цифровые вычислительные средства в архитектуре высокопроизводительных САПР БИС // Вопросы радиоэлектроники. Сер.

ЭВТ. 1989. Вып. 2. С. 14-22.

16. Денисенко В.В. Архитектура персональной рабочей станции схемотехнического проектирования БИС // Вопросы радиоэлектроники. Сер. ЭВТ. 1988.

Вып. 4. С. 20-30.

17. Денисенко В.В., Кильметов Р.С., Халявко А.Н. Модуль ввода в компьютер потенциальных и токовых сигналов NL-8AI // Приборы и техника эксперимента. 2009. №3. С. 152-153.

18. Денисенко В.В., Кильметов Р.С., Трубачев О.Е., Халявко А.Н. Серия модулей ввода-вывода "RealLab!" для автоматизации эксперимента // Приборы и техника эксперимента. 2009. №1. С. 171-173.

19. Денисенко В.В., Сорока В.Н., Трубачев О.Е., Халявко А.Н. Программируемый логический контроллер NLcon-CE в серии RealLab // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2010. № 1. С. 18-21.

20. Денисенко В.В., Ерещенко П.В., Кильметов Р.С., Метелкин Е. Е., Халявко А.Н., Шальнев К.П. Модули ввода-вывода RealLab! серии NL // Приборы и системы. Управление, Контроль, Диагностика. 2005. №1. С. 54-57.

21. Денисенко В.В., Халявко А.Н. Защита от помех датчиков и соединительных проводов систем промышленной автоматизации // Приборы и системы.

Управление, контроль, диагностика. 2002. №4. С. 45-51.

22. Денисенко В.В. Обобщение структур управляемых источников тока на операционных усилителях // Радиотехника. 1987. №8. С. 26-29.

23. Денисенко В.В. Топологическое преобразование, устраняющее незаземленные источники ЭДС в электрической цепи // Радиотехника. 1986. №8. С. 31-33.

24. Денисенко В.В. Специализированные параллельные вычислительные системы для схемотехнических рабочих станций САПР // Изв. ВУЗов. Радиоэлектроника. 1986. №12. С. 3-8.

25. Денисенко В.В. Непараметрическая модель объекта управления в ПИД регуляторах с автоматической настройкой // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2009. №6. С. 9-13.

26. Денисенко В.В., Попов В.П., Мережин Н.И. Методы и средства аналогоцифрового моделирования интегральных схем // Электронное моделирование.

1986. №5. С. 50-53.

27. Денисенко В.В. Синтез электронных цепей для моделирования полупроводниковых структур с р-п-переходами // Электронное моделирование. 1985.

№1. С. 31-35.

28. Денисенко В.В. Топологический синтез обратимых электронных цепей // Электронное моделирование. 1988. № 3. С. 22-27.

29. Денисенко В.В. Частично-дуальное топологическое преобразование электрических цепей // Электронное моделирование. 1987. №1. С. 90-93.

30. Денисенко В.В., Попов В.П. Применение принципа самоаналогии для моделирования биполярного транзистора в неквазистатическом режиме // Электронное моделирование. 1984. №4. С. 96-98.

31. Денисенко В.В., Попов В.П. Электронные цепи для моделирования физических процессов в полупроводниковых структурах методом прямых аналогий // Электронное моделирование. 1983. №6. С. 39-43.

32. Денисенко В.В., Попов В.П., Мережин Н.И. Аналого-цифровое моделирование интегральных схем // Электронное моделирование. 1985. №4. С. 112-114.

Список других работ по теме диссертации

33. Денисенко В.В. Применение реальных МОП транзисторов для моделирования электронных цепей // Электронное моделирование. 1997. № 5. С. 50-59.

34. Денисенко В.В. Незаземленный источник питания для прецизионной электронной аппаратуры. // В сб. "Полупроводниковая электроника в технике связи". М.: Радио и связь, 1987. С. 206-208.

35. Denisenko V. V. The Accuracy and Validity of the Simulation of VLSI MOS Transistors // Russian Microelectronics. 2009. Vol. 38, No. 4. P. 273–278.

36. Denisenko V.V. The dynamic error of a multichannel measurement system // Measurement Techniques. 2009. Vol. 52, Issue 1. P.1-4.

37. Denisenko V. Nonparametric Model for PID Controller Autotuning// 18th IEEE International Conference on Control Applications. Part of 2009 IEEE Multiconference on Systems and Control. - Saint Petersburg, Russia. July 8-10, 2009. P.

43-47.

38. Denisenko V. V. An accurate circuit simulation using real MOS transistor instead of its mathematical model // In Proc. 1997 International Symposium on Nonlinear Theory and its Applications (NOLTA'97). - Honolulu, U.S.A. Nov. 29 - Dec. 2.

1997. P.345-348.

39. Denisenko V. V. Application of real MOS transistors in the software of electric circuit design // Engineering Simulation, OPA, 1998. Vol.15. P. 617-627.

40. Denisenko V. V. Spice-like simulation using real devices instead of their mathematical models // Proc. 1998 Intern. Conf. on Modeling and Simulation of Microsystems, Semiconductors, Sensors and Actuators. April 6-8. - Santa Clara, CA, USA.

1998. P. 257-262.

41. Denisenko V.V. Hardware Accelerator for Circuit Simulation // In Proc. 1993 International Symposium on Nonlinear Theory and its Applications (NOLTA'93).

December 5-10. - Hawaii, USA. 1993. P. 1.6.4.

42. Denisenko V.V. MOS VLSI circuit simulation by hardware accelerator using semi-natural models // Proc. EURO-DAC'94 with EURO-VHDL'94, 1994, Grenoble, France. - IEEE Comp. Soc. Press, Los Alamos, Calif. 1994. P.182-186.

43. Denisenko V.V. Circuit Device Models for circuit design by hardware accelerator. - Proc. 3rd Int. Design Automation Workshop, Moscow, Russian Chapter of ACM/SIGDA, July 19-20, 1993. P. 187-193.

44. Denisenko V.V. Modifications of PID Regulators // Automation and Remote Control, 2010. V. 72. No. 6. P. 345-355.

45. Denisenko V.V. A table MOS transistor model parameter control // Russian Microelectronics, 2010. V. 39. No. 5. P. 352-365.

Список изобретений по теме диссертации

46. Денисенко В.В. А.с. 1490709. Аналоговый ключ. - Оп. в БИ, 1989, №24.

47. Денисенко В.В., Зексер Л.О. А.с. 1509942. Цифроуправляемый резистор. Оп. в БИ 1989. №35.

48. Денисенко В.В., Зексер Л.О. А.с. 1443006. Цифроуправляемый резистор. Оп. в БИ, 1988. №45.

49. Денисенко В.В. А.с. 1388911. Устройство для моделирования транзистора.

- Оп. в БИ, 1988. №14.

50. Денисенко В.В. А.с. 1336057. Модель p-n-перехода. - Оп. в БИ, 1987. №33.

51. Денисенко В.В., Л.И. Зексер. А.с. 1372339. Цифроуправляемый резистор. Оп. в БИ, 1987. №33.

52. Денисенко В.В. А.с. 1438028. Двунаправленный аналоговый ключ. - Оп. в БИ, 1987. №42.

53. Денисенко В.В., Мережин Н.И. А.с. 1339537. Кодоуправляемый резистор.

- Оп. в БИ, 1987. №35.



Pages:   || 2 |
Похожие работы:

«Суровцев Роман Сергеевич Вычислительные алгоритмы, методики и рекомендации для проектирования бортовой радиоэлектронной аппаратуры космического аппарата с учетом электромагнитной совместимости Специальность 05.12.04 – радиотехника, в том числе системы и устройства телевидения Автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук Томск–2015 Работа выполнена в федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального...»

«ШУВАЛОВ Андрей Сергеевич СИНТЕЗ И АНАЛИЗ МНОГОФАЗНЫХ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТЕЙ БАРКЕРА Специальность 05.12.04 – Радиотехника, в том числе системы и устройства телевидения Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург 2013 Работа выполнена на кафедре информационной безопасности Поволжского государственного технологического университета доктор физико-математических наук Научный руководитель: Леухин Анатолий Николаевич Официальные...»

«Беринцев Алексей Валентинович ПОВЫШЕНИЕ ТОЧНОСТИ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ СЛАБЫХ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СИГНАЛОВ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ И ПОЗИЦИОННО-ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ Специальность: 05.11.01 – Приборы и методы измерения (электрические измерения) АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Ульяновск – 2015 Работа выполнена на кафедре «Радиотехника, оптои наноэлектроника» Ульяновского государственного технического университета. Научный руководитель: доктор...»

«ВОЛОВАЧ ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ РАЗВИТИЕ ТЕОРИИ, ПРИНЦИПОВ ПОСТРОЕНИЯ И СРЕДСТВ РЕАЛИЗАЦИИ ЭФФЕКТИВНЫХ РАДИОТЕХНИЧЕСКИХ СИСТЕМ ОБНАРУЖЕНИЯ И КОНТРОЛЯ ПРОТЯЖЕННЫХ ОБЪЕКТОВ Специальность 05.12.04 – Радиотехника, в том числе системы и устройства телевидения АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук Самара 2015   Работа выполнена в Федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования «Поволжский...»

«Артищев Сергей Александрович ДИАГНОСТИКА КАЧЕСТВА ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ И ПРОВОДНИКОВ МЕТОДОМ НЕЛИНЕЙНОЙ ВИДЕОИМПУЛЬСНОЙ РЕФЛЕКТОМЕТРИИ Специальность 05.12.04 – «Радиотехника, в том числе системы и устройства телевидения» АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук Томск – 2015 Работа выполнена в федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования «Томский государственный университет...»

«Ахметов Денис Булатович СИНТЕЗ И РЕАЛИЗАЦИЯ СИНТЕЗАТОРОВ ЧАСТОТ ДЛЯ БЕСПРОВОДНЫХ СИСТЕМ РАДИОЧАСТОТНОЙ ИДЕНТИФИКАЦИИ Специальность 05.12.04 – Радиотехника, в том числе системы и устройства телевидения АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург – 2015 Работа выполнена в федеральном государственном автономном образовательном учреждении высшего образования «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого» Научный...»

«КОЛЯДИН НИКОЛАЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ ИМПУЛЬСНЫХ СИГНАЛОВ, ПРОШЕДШИХ НАЗЕМНУЮ ТРАССУ РАСПРОСТРАНЕНИЯ РАДИОВОЛН, И ЕЁ ИСПОЛЬЗОВАНИЕ В ПРОЕКТИРОВАНИИ ФАЗОВЫХ ПЕЛЕНГАТОРОВ Специальность 05.12.14 – Радиолокация и радионавигация АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук Томск – 2015 Работа выполнена в федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального...»

«Самищенко Алексей Сергеевич НАУЧНЫЕ ОСНОВЫ ДАКТИЛОСКОПИИ И ПЕРСПЕКТИВЫ ИХ РАЗВИТИЯ Специальность: 12.00.12 – криминалистика; судебно-экспертная деятельность; оперативно-розыскная деятельность Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата юридических наук Москва – 2015 Работа выполнена в Федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования «Московский государственный технический университет радиотехники,...»









 
2016 www.konf.x-pdf.ru - «Бесплатная электронная библиотека - Авторефераты, диссертации, конференции»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.