WWW.KONF.X-PDF.RU
БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА - Авторефераты, диссертации, конференции
 

Pages:   || 2 | 3 | 4 | 5 |   ...   | 8 |

«ОПТИЧЕСКИЕ СПЕКТРОМЕТРЫ С МНОГОЭЛЕМЕНТНЫМИ ФОТОПРИЕМНИКАМИ ...»

-- [ Страница 1 ] --

Санкт-Петербургский государственный электротехнический

университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)

(СПбГЭТУ «ЛЭТИ»)

На правах рукописи

Ухов Андрей Александрович

ОПТИЧЕСКИЕ СПЕКТРОМЕТРЫ С МНОГОЭЛЕМЕНТНЫМИ

ФОТОПРИЕМНИКАМИ

Специальность 05.11.07 – Оптические и оптико-электронные

приборы и комплексы

Диссертация на соискание учёной степени доктора технических наук



Санкт-Петербург – 2015

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ ………………………………………………………………

1. СПЕКТРАЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ

1.1. Краткая история развития оптической спектрометрии и создания фоточувствительных приборов с зарядовой связью

1.2. Электромагнитное излучение и его взаимодействие с веществом

1.3. Состав спектрального прибора

1.4. Классификация спектральных приборов

1.4.1. Способ регистрации излучения

1.4.2. Тип устройства разложения излучения в спектр

1.4.3. Количество одновременно регистрируемых спектральных линий............ 31 1.4.4. Способ взаимодействия с исследуемым объектом

1.4.5. Назначение

1.5. Основные параметры спектральных приборов

1.6. Оптические схемы спектрометров

1.6.1. Схема Czerny-Turner

1.6.2. Схема Ebert-Fastie

1.6.3. Схема Monk-Gillieson

1.6.4. Схема Littrow

1.6.5. Схема Echelle

1.6.6. Схемы с кругом Роуланда

1.6.7. Схема Wadsworth

1.7. Конструкция малогабаритного спектрометра с многоэлементным фотоприемником

1.7.1. Выбор оптической схемы малогабаритного спектрометра

1.7.2. Выбор дифракционной решетки

1.7.3. Выбор входной щели

1.7.4. Выбор многоэлементного фотоприемника

1.7.5. Влияние температуры на сигнал многоэлементного фотоприемника....... 61 1.7.6. Снижение уровня рассеянного света

1.7.7. Устранение высоких порядков дифракции

1.7.8. Спектрометр ISM3600B3

1.8. Малогабаритные спектрометры отечественного производства

1.9. Выводы и постановка задачи исследования

2. ОПТИЧЕСКИЕ УЗЛЫ И ЭЛЕМЕНТЫ

2.1. Постановка задачи

2.2. Модификация ПЗС-фотоприемников

2.2.1. Технология снятия защитного стекла с ПЗС-фотоприемника

2.2.2. Интерференция в структуре ПЗС-фотоприемника

2.2.3. Нанесение слоя люминофора на поверхность ПЗС-фотоприемника........ 83 2.2.4. Подавление интерференции путем увеличения толщины поверхностного слоя ПЗС-фотоприемника

2.2.5. Установка оптоволоконной шайбы на поверхность фотоприемника для выравнивания фокусировки

2.2.6. Установка оптоволоконных шайб для устранения мертвых зон в многоканальных спектрометрах

2.3. Автоматизированная спектральная щель

2.4. Автоматическая компенсация ухода калибровки

2.5. Оптимизация юстировки спектрометра с многоэлементным фотоприемником

2.6. Выводы

3. ЭЛЕКТРОННЫЕ БЛОКИ ОПТИЧЕСКИХ СПЕКТРОМЕТРОВ

3.1. Постановка задачи

3.2. Шумы ПЗС-фотоприемников

3.3. Цифровая коррелированная выборка

3.4. Оптимизация тактирования для снижения шумов ПЗС-фотоприемников..... 136

3.5. Принципы построения систем регистрации сигнала линейных ПЗСфотоприемников

3.6. Многоканальные системы регистрации

3.7. Системы регистрации инфракрасного спектрального диапазона

3.8. Выводы

4. ОБРАБОТКА ДАННЫХ В ОПТИЧЕСКИХ СПЕКТРОМЕТРАХ С

МНОГОЭЛЕМЕНТНЫМИ ФОТОПРИЕМНИКАМИ

4.1. Постановка задачи

4.2. Программное обеспечение для управления малогабаритными спектрометрами Aspect

4.2.1. Основные параметры

4.2.2. Измерение толщины полупроводниковых мембран

4.3. Программное обеспечение для управления малогабаритными спектрометрами ASpect.NET

4.4. Программное обеспечение для управления малогабаритными спектрометрами ASpect2010

4.4.1. Основные параметры

4.4.2. Структура спектральных данных

4.4.3. Измерение амплитуды и длины волны

4.4.4. Вычисление статистических параметров

4.4.5. Параметры регистрации спектров

4.4.6. Калибровка спектрометра





4.4.7. Элементы таблицы Менделеева

4.4.8. Колориметрические измерения

4.4.9. Измерение параметров тонких пленок

4.4.10. Адаптивная фильтрация

4.4.11. Спектральный калькулятор

4.5. Выводы

5. ПАРАМЕТРЫ РАЗРАБОТАННЫХ ПРИБОРОВ И ОБЛАСТИ ИХ

ПРИМЕНЕНИЯ

5.1. Универсальные спектрометры

5.2. Спектрометры для контроля содержания солей урана в водном растворе.... 235

5.3. Спектрометры для медицинских применений

5.4. Спектрометры для колориметрии

5.4.1. Колориметр для парфюмерной промышленности СК 1А

5.4.2. Колориметр для исследования старения бумаги

5.5. Спектрометры для идентификации пород древесины

5.5.1. Спектрометр для идентификации пород древесины «Кедр»

5.5.2. Спектрометр для идентификации пород древесины «Кедр-М»............... 247

5.6. Спектрометры для измерения параметров источников излучения................. 250

5.7. Спектрометры для измерения параметров тонких пленок

5.8. Спектрометры для инфракрасной области спектра

5.9. Системы регистрации для эмиссионного анализа

5.10. Многоэлементные фотоприемники, использованные в разработанных спектральных приборах

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ………………………………………………………… 268 СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

ВВЕДЕНИЕ

Работа посвящена разработке принципов построения систем регистрации на базе многоэлементных фотоприемников, используемых в одно- и многоканальных спектральных приборах и методам работы с полученными сигналами.

Представленные решения позволяют оптимизировать весь набор технических характеристик спектральных приборов с учетом особенностей построения и использования многоэлементных фотоприемников при решении конкретной задачи в соответствующей области, как, например, в колориметрии, эмиссионном спектральном анализе и т.д.

Области применения разработок охватывают анализ металлов и сплавов, исследование параметров источников излучения, измерение параметров тонких пленок, медицину и другие направления, активно используемые в научных исследованиях и на производстве. Результаты многолетних исследований позволили разработать и создать целую гамму новых оригинальных приборов – около двадцати различных типов малогабаритных и эмиссионных спектрометров с многоэлементными фотоприемниками, успешно используемых в научных организациях и на производственных предприятиях. Например, разработанные в начале девяностых годов прошлого века кассетные системы регистрации, заменившие фотопластинки в промышленных эмиссионных спектрометрах, позволили обеспечить многие отечественные металлургические предприятия современным метрологическим оборудованием при минимальных затратах на переоснащение заводских лабораторий. Портативные приборы идентификации пород древесины, не имеющие мировых аналогов, позволили обеспечить эффективный таможенный контроль экспорта древесины и пиломатериалов, превышающий в настоящее время 20 миллиардов долларов в год. Наличие данных приборов в органах Федеральной таможенной службы самим фактом своего существования предотвращает вывоз ценных пород древесины под видом более дешевых сортов, что дает весьма значительный экономический эффект в масштабах страны. Партия спектрометров для контроля характеристик белых светодиодов позволила предприятию ЗАО «Светлана-Оптоэлектроника», лидеру не только отечественного рынка светодиодных систем освещения, но и одному из крупнейших производителей светодиодной продукции в Европе, обеспечить необходимое качество светодиодных светильников с самого начала их производства. Основное внимание в работе уделено повышению метрологических и эксплуатационных параметров разработанных приборов.

В работе обобщены результаты, полученные лично автором, либо с его непосредственным участием в период с 1989 по 2015 год в Санкт-Петербургском государственном электротехническом университете «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина) (СПбГЭТУ).

Актуальность темы Спектральные методы анализа успешно применяются во многих областях науки и техники, однако дорогое и сложное лабораторное измерительное оборудование, в силу определенных ограничений, не может быть использовано везде, где это необходимо. В первую очередь это касается стоимости приборов.

Применение дорогостоящего контрольно-измерительного оборудования приводит к увеличению производственных издержек и, соответственно, к снижению конкурентоспособности выпускаемой продукции, даже несмотря на повышение ее качества. Сложность проведения измерений также накладывает существенные ограничения на уровень подготовки персонала. Следовательно, имеется насущная необходимость в проведении исследований, результатом которых является разработка и создание новых типов спектральных приборов с многоэлементными фотоприемниками, обладающих следующими преимуществами:

относительно невысокая стоимость, позволяющая применить данные приборы для непосредственного контроля параметров технологических процессов, и, без значительных финансовых затрат, повысить качество выпускаемой продукции;

простота управления и возможность автоматизации измерений, позволяющая исключить влияние «человеческого фактора» и снижающая требования к квалификации обслуживающего персонала достаточно высокие метрологические параметры, достигнутые в новых типах разработанных и реализованных спектральных приборов с многоэлементными фотоприемниками, позволяющие получать результаты, достижимые ранее только на специализированном лабораторном оборудовании;

высокая производительность систем регистрации, полученная за счет применения новых методов обработки сигналов многоэлементных фотоприемников и позволяющая проводить измерения с быстродействием, удовлетворяющим требованиям массового производства;

простота перестройки спектрального диапазона, достигнутая за счет применения разработанных методик юстировки и калибровки, позволяющая с минимальными затратами адаптировать приборы под нужды конкретного производства;

снижение стоимости InGaAs многоэлементных фотоприемников, чувствительность которых находится в ближней инфракрасной области спектра, позволяющее без значительных затрат расширить спектральный диапазон малогабаритных спектрометров, дополнив тем самым области их применения новыми направлениями;

малые габариты и вес, позволяющие использовать разработанные приборы в «полевых» условиях за пределами лабораторий и существенно расширяющие области применения малогабаритных спектрометров.

Преимущества малогабаритных оптических спектрометров с многоэлементными фотоприемниками также подтверждаются их большой популярностью как в научных лабораториях, так и на производстве. При этом спектральные приборы, разработанные автором, имеют параметры и функционал, соответствующие лучшим мировым образцам, а в некоторых случаях и превосходят их, имея при этом меньшую стоимость. Компания Ocean Optics утверждает, что разработала первый в мире миниатюрный спектрометр с линейным ПЗСфотоприемником в 1993 году [1], а компания StellarNet, основанная в 1991 году утверждает, что является первым в мире изобретателем миниатюрного спектрометра с вогнутой дифракционной решеткой [2]. При этом, первый доклад на конференции, посвященный применению аналогичного прибора (миниатюрного спектрометра с линейным ПЗС-фотоприемником и вогнутой дифракционной решеткой), был сделан автором в 1989 году, а первая статья опубликована в 1990 году. Компания B&W Tek, декларирующая себя как мировой лидер в производстве малогабаритных оптических спектрометров, утверждает, что в настоящее время производит «первые в мире умные спектрометры», которые имеют базовые функции обработки сигнала непосредственно в спектрометре, однако указанные ими функции присутствуют в разработанных автором приборах уже на протяжении последних десяти лет.

Многоэлементные фотоприемники также с успехом применяются в гораздо более сложных эмиссионных спектрометрах, а разработанная автором многоканальная система регистрации позволила создать первый отечественный передвижной оптический эмиссионный спектрометр «Минилаб-СЛ». Десятки фирм производителей по всему миру ежегодно выпускают тысячи спектральных приборов. Мировой объем рынка спектрального оборудования в 2012 году составил 8,5 миллиарда долларов и, по прогнозам, к 2017 году увеличится до 14,8 миллиарда долларов [3]. По оценкам экспертов объем рынка спектрометрических приборов составляет 35% от общего рынка аналитического оборудования, а ежегодный мировой объем рынка малогабаритных спектральных приборов с многоэлементными фотоприемниками оценивается в 50 миллионов долларов [4].

Цель работы Целью работы является проведение исследований систем с многоэлементными фотоприемниками, разработка методов оптимизации их конструкции и обработки сигналов, а также создание новых приборов с метрологическими и эксплуатационными характеристиками на уровне лучших мировых образцов.

Для достижения поставленной цели в работе решаются следующие основные задачи:

1. Разработка методов и поиск путей повышения динамического диапазона многоэлементных фотоприемников, применяемых в оптических спектрометрах. Разработка технологии модификации фотоприемников на основе проведенных исследований.

2. Проведение исследований с целью выявления и последующего устранения недостатков оптических спектрометров, связанных с конструктивными особенностями многоэлементных фотоприемников.

3. Разработка методов снижения уровня шума в электронной системе регистрации оптических спектров.

4. Анализ конструкционных элементов спектрометров с многоэлементными фотоприемниками и создание технологических решений, позволяющих оптимизировать юстировку и калибровку.

5. Оптимизация конструкции модульной системы регистрации для оптических спектрометров с несколькими многоэлементными фотоприемниками.

6. Исследование и разработка методов и алгоритмов обработки спектральных данных, создание на их основе программного обеспечения для повышения эксплуатационных и метрологических параметров спектральных приборов.

Методы исследования Решение поставленных в работе задач проводилось путем сочетания теоретических и экспериментальных методов исследования. Теоретические методы исследования основаны на законах взаимодействия электромагнитного излучения оптического диапазона с элементами спектрометра, математическом анализе этого взаимодействия и математической статистике. Экспериментальные методы исследования основаны на макетировании разработанных электронных блоков.

Научные положения, выносимые на защиту

1. Использование в качестве сигнала обратной связи значения емкости плоского конденсатора, образованного ножами автоматизированной спектральной щели, позволяет с требуемой точностью установить ее ширину.

2. Применение при юстировке оптического спектрометра в качестве источника излучения нескольких управляемых светодиодов с различной длиной волны излучения вместо источника излучения с линейчатым спектром позволяет автоматизировать идентификацию спектрального диапазона спектрометра и повысить точность его настройки.

3. Цифровая коррелированная выборка с многократной оцифровкой каждого пикселя и статистической обработкой данных позволяет повысить динамический диапазон сигнала ПЗС-фотоприемника в два и более раз путем снижения амплитуды шумовой составляющей сигнала.

4. Хранение спектральных данных с одинаковой привязкой по длинам волн при линейной интерполяции фактических значений длины волны на фиксированные значения позволяет корректно обрабатывать данные вне зависимости от экземпляра прибора, его спектрального диапазона и текущей калибровки.

5. Замена уровня сигнала, не выходящего за пределы предварительно измеренного уровня шума, на значение усредненного темнового сигнала позволяет проводить фильтрацию линейчатых спектров после однократной регистрации, при этом результат фильтрации будет соответствовать многократной регистрации с последующей статистической обработкой.

Научная новизна Разработаны методы, позволяющие повысить соотношение сигнал/шум стандартных многоэлементных фотоприемников, в результате чего внедрена технология модификации многоэлементных фотоприемников.

На основании проведенных исследований, позволивших оптимизировать конструкцию, значительно уменьшить габариты и энергопотребление, увеличить динамический диапазон работы прибора и повысить его метрологические характеристики, разработано семейство малогабаритных спектрометров с многоэлементными фотоприемниками для использования в научных исследованиях, промышленном производстве и идентификации пород древесины.

Разработана модульная конструкция системы регистрации для эмиссионных спектрометров, позволившая использовать единую электронную регистрирующую платформу для применения в спектрометрах с различным числом многоэлементных фотоприемников.

Предложена новая методика юстировки оптических спектрометров, позволяющая снизить трудоемкость процесса настройки, и повысить качество прибора.

Разработаны методы обработки спектральных данных, позволившие повысить динамический диапазон и воспроизводимость результатов измерений. На основании проведенных исследований разработано программное обеспечение для управления спектральными приборами с многоэлементными фотоприемниками и обработки экспериментальных данных.

Практическая значимость диссертационной работы Разработано несколько семейств спектральных приборов, выпущенных в виде макетов, мелкосерийно и серийно:

1. Семейство спектрометров с многоэлементными фотоприемниками отечественного производства типа ФППЗ–7Л, ФППЗ-8Л и ФППЗ-10Л для технологических применений, таких как контроль скорости напыления и травления диэлектриков и полупроводников, контроль содержания солей урана в водном растворе, контроль процессов травления кремниевых пластин, регистрация спектров излучения плазмы;

2. Семейство различных универсальных малогабаритных спектрометров типа IS3600, ISM3600 и NKS 1001, выпускающихся мелкосерийно и предназначенных, в том числе, для контроля параметров светодиодов;

3. Система регистрации спектрометра, предназначенного для определения концентрации полигексаметиленгуанидина в поликомпонентных дезинфицирующих средствах медицинского назначения;

4. Колориметры для исследования старения бумаги и парфюмерной промышленности типа СК 1А;

5. Спектрометры для идентификации пород древесины «Кедр» и «Кедр-М», выпускающиеся серийно;

6. Экспериментальный прототип Рамановского спектрометра для идентификации пород древесины;

7. Системы регистрации для фотоэлектронной кассеты к спектрографам «Анализаторы атомных спектров ЦС» и первого отечественного передвижного оптического эмиссионного спектрометра «Минилаб-СЛ», выпускавшиеся серийно;

8. Система регистрации инфракрасного спектрального диапазона для дистанционного выявления паров и аэрозолей веществ в открытых и замкнутых газовых средах;

9. Модульные системы регистрации для эмиссионных спектрометров, в том числе для модернизации эмиссионных спектрометров NK5001.

Основные результаты разработок и исследований внедрены в следующих отечественных научных организациях и промышленных предприятиях:

1. ГП «НИИЭФА» им. Д. В. Ефремова;

2. АО «Государственный Оптический Институт им. С.И. Вавилова» (ГОИ);

3. ПО «Маяк»;

4. ЗАО «Светлана-Оптоэлектроника»;

5. «Научно-исследовательский институт командных приборов» (ФГУП НИИКП);

Загрузка...

6. НПП «Буревестник», ОАО;

7. Учреждение Российской академии наук Институт проблем машиноведения РАН (ИПМаш РАН);

8. ФТИ им. А.Ф. Иоффе РАН;

9. ОАО «НИИТМ»;

10. ООО «Нординкрафт-Сенсор»;

11. ООО «Научно-производственное предприятие «АДВЕНТ»;

12. СПбГЭТУ (ЛЭТИ).

Апробация работы Результаты, изложенные в работе, докладывались и обсуждались на

Российских и международных научных конференциях, в том числе на:

1. I Всесоюзная НТК «Автоматизация, интенсификация, интеграция процессов технологии микроэлектроники», Ленинград, 1989.

2. Всесоюзная НТК «Актуальные проблемы электронного приборостроения», Новосибирск, 1990.

3. НТ-семинар «Опыт внедрения прогрессивных средств и методов размерного контроля», ЛДНТП, Ленинград, 1990.

Международная НТК «Актуальные проблемы электронного

4. II приборостроения», Новосибирск, 1994.

5. НТК с зарубежным участием «Вакуумная наука и техника», Гурзуф, окт.

1995.

6. Международная НТК, «Актуальные проблемы электронного приборостроения АПЭП-96», Новосибирск, 1996.

международная НТК, «Актуальные проблемы электронного

7. IV приборостроения», Новосибирск, 1998.

8. III международная НТК «Электроника и информатика – XXI век», Зеленоград, 2000.

9. Х международная конференция «Физика диэлектриков» (Диэлектрики – 2004). СПб 2004.

10. НТК, посвященные Дню Радио, СПб, 2008-2015.

11. НТК «Вакуумная техника и технология - 2012», СПб, 2012.

12. 11-я международная конференция «Пленки и покрытия - 2013», СПб 2013.

научно-техническая школа-семинар «Инфокоммуникационные 13. 3-я технологии в цифровом мире» 2013.

14. 12-я международная конференция «Пленки и покрытия - 2015», СПб 2015.

15. 11th German-Russian Conference on Biomedical Engineering. 2015.

Публикации По теме диссертации опубликовано более 50 научных работ (из них 22 статьи в журналах, рекомендованных ВАК и 2 публикации в зарубежных изданиях, индексируемых в SCOPUS), 1 монография, получено 30 отечественных и зарубежных патентов и свидетельств на полезную модель, а также 8 свидетельств о государственной регистрации программ для ЭВМ.

Достоверность материалов диссертационной работы Достоверность подтверждена результатами спектральных измерений, выполненных на разработанных оптических спектрометрах с многоэлементными фотоприемниками.

Структура и объем диссертации Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав, заключения и списка использованной литературы. Она содержит 290 страниц машинописного текста, включает 182 рисунка и 16 таблиц. Список литературы насчитывает 216 наименований.

1. СПЕКТРАЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ

1.1. Краткая история развития оптической спектрометрии и создания фоточувствительных приборов с зарядовой связью Первые наблюдения цветовых эффектов с помощью призмы проводились Сенекой в сороковых годах первого века нашей эры, а в Китае даже ранее [5], так что призменные «спектрометры» являются наиболее древними из известного человечества спектральных приборов.

В 1634 году Рене Декарт опубликовал «Трактат о свете» [6], в котором были заложены основы представлений о свете и его взаимодействии с окружающими предметами, в частности были описаны понятия отражения и преломления, что послужило основой для дальнейших исследований в оптике в целом и в частности в спектроскопии.

Термин «спектр» (в переводе с латыни spectrum означает изображение в душе) был введен Исааком Ньютоном в 1671—1672 годах для обозначения многоцветной световой полосы, которая была им получена в результате экспериментов по прохождению солнечного луча через стеклянную призму. В 1704 году он опубликовал свой труд «Оптика», в котором изложил результаты опытов с призмой – разложение белого света на отдельные спектральные компоненты [7].

Можно утверждать, что в этом труде были заложены основы оптической спектроскопии, поскольку там были описаны все три метода разложения света, используемых и в настоящее время — преломление, интерференция и дифракция, а его прибор с призмой, щелью и линзой был первым в мире спектроскопом.

В 1756 году русский ученый М. В. Ломоносов на торжественном собрании Академии наук прочитал «Слово о происхождении света, новую теорию о цветах представляющее». В этой работе он сделал предположения о единой природе световых и электрических явлений, а также отдал предпочтение волновой теории Гюйгенса и Декарта в противовес воззрениям Ньютона. Ломоносов был первым ученым, выдвинувшим гипотезу о трех основных цветах, легшую в основу колориметрии [8].

В 1854 году Кирхгоф (Gustav Robert Kirchhoff) и Бунзен (Robert Wilhelm Eberhard von Bunsen) начали эксперименты с парами металлических солей в пламени и их спектрами [9], заложив тем самым основы спектрального анализа.

В 1868 году физик Андерс Йонас Ангстрем (Anders Jonas ngstrm) опубликовал детальное исследование длин волны солнечного спектра, используя в качестве единицы измерения 10-10 метра (в настоящее время известна как ангстрем ). Его считают одним из основоположников современной спектроскопии. Также в 1869 году он изготовил первую отражательную дифракционную решетку.

В 1882 году физик Роуланд (Henry A. Rowland) изготовил первую вогнутую дифракционную решетку, конструкция которой, став фактическим стандартом, применяется и сегодня. Такой тип решетки позволил отказаться от дополнительных оптических элементов, что позволило снизить потери излучения в ультрафиолетовом и инфракрасном диапазонах. Машины для изготовления дифракционных решеток, изготовленные Роуландом с успехом использовались и в начале двадцатого века. В том же году Артур Шустер (Arthur Schuster) ввел термин спектроскопия (spectroscopy), добавив к слову spectrum греческое skopein (наблюдение).

В 1936 году в Государственном оптическом институте (ГОИ) был разработан и выпущен первый отечественный спектрограф для регистрации спектра в ультрафиолетовой и видимой частях спектра.

В 1937 году Морис Хэслер (Maurice Hasler) из лабораторий прикладных исследований (Applied Research Laboratories) изготовил первый коммерческий спектрограф с дифракционной решеткой.

В 1940 году ученый Арнольд Дж. Бекман (Arnold J. Beckman) и его коллеги из National Technologies Laboratory (NTL) разработали спектрофотометр, названный Beckman DU, который обеспечивал очень высокую точность анализа.

Было разработано несколько моделей прибора, а его базовая конструкция оставалась неизменной с 1941 по 1976 год. Всего было выпущено более 30000 экземпляров спектрофотометра.

Появление микропроцессоров в восьмидесятые годы прошлого века открыло новую эру в приборостроении и с тех пор ими стали оснащаться почти все спектральные приборы, что позволило выйти на новый уровень обработки спектральной информации. Первым известным спектрометром с микропроцессорным управлением был, разработанный в 1981 году, прибор фирмы Cecil Instruments [10].

Многоэлементные твердотельные детекторы излучения (ТДИ) появились сравнительно недавно. Наиболее известными из них являются ПЗСфотоприемники. История их изобретения довольно необычна – Дж. Смит (George Smith) и В. Бойль (Willard Boyle) разрабатывали новые типы запоминающих устройств в Bell Labs, а вовсе не фотоприемники. В ходе обсуждения 17 октября 1969 года они практически в течение часа разработали полупроводниковую структуру, использующую принцип переноса заряда [11] и изготовили первый в мире реальный прибор, за что впоследствии им была присуждена Нобелевская премия. Затем ими была предложена трехфазная схема управления со скрытым каналом [12], использующаяся в большинстве приборов с переносом заряда и в настоящее время. Уже в 1975 году фотоприемник с переносом заряда впервые был использован в астрономическом эшелле спектрометре [13]. Первое упоминание о применении ПЗС–фотоприемника в Рамановском спектрометре появилось в 1987 году [14]. В 1992 году фирмой Thermo Jarrell Ash был выпущен первый коммерческий спектрометр IRIS с твердотельным матричным детектором на приборе с зарядовой инжекцией (charge injection device – CID). В том же году фирма Ocean Optics продала, как ими утверждается, «первый в мире миниатюрный спектрометр» с линейным ПЗС- фотоприемником.

Бойль и Смит в своих первых работах дали совершенно точный прогноз по областям применения разработанного ими устройства. Они предположили, что наибольшее распространение приборы с переносом заряда получат в устройствах регистрации изображений, что и произошло в действительности. Наиболее известны на сегодняшний день такие производители ПЗС-фотоприемников общего назначения как Sony, Toshiba, Thomson, Dalsa, Kodak (в настоящее время производство принадлежит ON Semiconductor) а также фотоприемников для научных применений, таких, например, как Hamamatsu или Scientific Imaging Technologies. Всего в мире на сегодняшний день насчитывается более ста фирм производителей ПЗС-фотоприемников различного назначения.

Отечественная промышленность также успешно освоила производство приборов с переносом заряда. В частности, уже в 1973 году была зарегистрирована заявка на патент [15], описывающая соответствующую структуру ПЗС. Российские ученые и инженеры, такие как P. А. Сурис, В. А. Гергель, Ф. П. Пресс, Ю. А.

Кузнецов, В. А. Шилин, В. А. Арутюнов и др. внесли большой вклад в разработку конструкций и развитие технологии производства приборов с переносом заряда.

Производство ПЗС-фотоприемников, начиная с 1975 года, было освоено на таких предприятиях как ОАО «ЦНИИ «Электрон» (основано в 1956 году) [16] и его дочерним предприятием ЗАО НПП «Элар» (основано в 2007 году), а также ОАО «НПП «Пульсар» (основано в 1953 году). В настоящее время ОАО «ЦНИИ «Электрон» специализируется на функционально-ориентированных линейных ПЗС, а ОАО «НПП «Пульсар» на линейных ПЗС общего применения.

Согласно ГОСТ 25532-89 [17] имеются следующие основные определения типов приборов с переносом заряда:

ФППЗ – фоточувствительный прибор с переносом заряда;

ФПЗС – фоточувствительный прибор с зарядовой связью.

Фоточувствительный прибор с переносом заряда, в котором фоточувствительные элементы расположены в один ряд, называется линейным ФППЗ. В мировой практике для обозначения приборов с переносом заряда используется термин charge-coupled device (CCD), который переводится на русский язык как «приборы с зарядовой связью» (ПЗС). В отечественной литературе, посвященной приборам с переносом заряда можно встретить как термин ФППЗ, так и ПЗС, обозначающий по сути один и тот же полупроводниковый прибор.

Оптическая спектроскопия уже на протяжении более двух веков с успехом используется в науке, производстве и медицине. Поскольку каждое вещество обладает уникальными свойствами, которые могут быть измерены спектральными методами, становится возможным определение качественного и количественного состава исследуемых объектов.

1.2. Электромагнитное излучение и его взаимодействие с веществом Спектроскопические методы анализа веществ — это методы, основанные на изучении взаимодействия электромагнитного излучения с исследуемым веществом. При этом изучается распределение исследуемых параметров по длинам волн излучения или энергиям квантов.

Как известно, электромагнитное излучение — это энергия, распространяющаяся в вакууме со скоростью c = 299792458 м/с. Частными видами электромагнитного излучения, являются видимый свет, инфракрасное и ультрафиолетовое излучение, радиоволны, а также гамма- и рентгеновское излучение.

Если принимать во внимание волновую природу электромагнитного излучения, то его основными характеристиками будут длина волны, амплитуда и скорость распространения. При этом электромагнитное излучение можно рассматривать как поле и на основе его свойств можно анализировать физические явления – интерференцию и дифракцию, отражение, преломление и рассеяние.

Однако в определенных ситуациях электромагнитное излучение проявляет корпускулярную природу, на основе которой можно анализировать явления поглощения и испускания электромагнитного излучения атомами и молекулами. При этом электромагнитное излучение представляется в виде потока фотонов.

Энергия фотонов может быть вычислена по известному соотношению:

(1.1) = где h – постоянная Планка 4.135667·10-15 эВ·с; v – частота.

Размерность постоянной Планка (эВ·с) выбирается исходя из удобства дальнейших вычислений энергии в эВ.

Длину волны можно определить через скорость света как:

(1.2) = Весь доступный для регистрации современными средствами диапазон электромагнитного спектра может быть разделен на несколько областей, в каждой из которых применяются свои методы анализа (Таблица 1.1).

Следует отметить, что деление на спектральные области по их границам не является строго определенным, поскольку они зачастую перекрываются. В дальнейшем будут рассматриваться приборы для исследования ультрафиолетового (УФ), видимого и инфракрасного (ИК) диапазонов электромагнитного излучения.

–  –  –

Также в таблице серым цветом выделены диапазоны, для которых автором создавалось соответствующее спектрометрическое оборудование.

В дальнейшем будет рассматриваться область оптического излучения – т.е.

область электромагнитного излучения, к которой применимы законы геометрической оптики, основанные на рассмотрении световых лучей (в таблице выделено серым цветом). При этом следует отметить, что границы области оптического излучения постепенно стираются с развитием новых методов исследования и соответствующей аппаратуры.

Исследование электромагнитного излучения в выбранном диапазоне производится с помощью спектроскопии, то есть регистрации и идентификации спектра, который представляет собой зависимость распределения энергии излучения от длины волны или частоты [19].

Спектроскопия используется во многих областях науки и техники [20]:

исследование качественного и количественного состава вещества, по сути, физический метод анализа химического состава веществ;

измерение параметров источников излучения;

измерение параметров тонких пленок;

измерение цвета поверхности несамосветящихся объектов (колориметрия).

Существуют и другие методы исследования состава веществ, такие как массспектрометрия, электронный парамагнитный резонанс, но они накладывают определенные ограничения на подготовку анализируемого объекта, в то время как для оптической спектроскопии подобные ограничения практически отсутствуют.

Можно утверждать, что оптическая спектроскопия обладает следующими преимуществами:

анализ может проводиться in situ (лат. на месте) что позволяет исследовать объекты, например, внутри технологической установки непосредственно в процессе их обработки;

исследуемый объект не требует специальной подготовки, а сам метод является неразрушающим. Исключение составляет эмиссионная спектроскопия, при использовании которой часть поверхности металлического объекта разрушается электрическим разрядом, но урон наносится минимальный;

с помощью методов оптической спектроскопии возможно определение очень малых концентраций веществ;

методы позволяют оперировать очень малыми энергиями, регистрируя отдельные фотоны;

агрегатное состояние исследуемого объекта не имеет значения – можно исследовать объекты, как в твердом, так в и жидком и газообразном состояниях.

Спектроскопические методы анализа получили в настоящее время широкое распространение, как в научных исследованиях, так и в промышленности. Рынок приборов постоянно расширяется, поскольку появляются новые задачи, которые могут быть решены данными приборами. В зависимости от конкретных применений приборы различаются как по метрологическим параметрам, так и по стоимости. В связи с этим наметилась явная тенденция к переходу от универсальных дорогостоящих лабораторных установок к узкоспециализированным приборам, имеющим не столь высокие параметры, но экономически гораздо более эффективным.

1.3. Состав спектрального прибора

Спектральными называются приборы, в которых осуществляется разложение электромагнитного излучения оптического диапазона на отдельные монохроматические составляющие с их последующей регистрацией и анализом [21].

В наиболее общем случае спектральный прибор может иметь в своем составе блоки, представленные на Рисунок 1.1. В зависимости от назначения и конструкции спектрального прибора отдельные его составляющие могут отсутствовать.

Например, в самых первых спектральных приборах присутствовал только оптический блок, а приемником оптического излучения служил глаз человека. В случае если спектральный прибор предназначен для исследования спектров источников излучения, то эти источники и будут исследуемым объектом.

Приемник оптического излучения выбирается исходя из требуемого спектрального диапазона и конструкции прибора. Блок регистрации сигнала с приемника оптического излучения предназначен для преобразования сигнала в цифровую форму и предварительной обработки данных. Однако, ранее широко применялись приборы, в которых в качестве приемника оптического излучения использовались фотопластинки и, соответственно, блок регистрации сигнала с фотоприемника отсутствовал. Вычислительный блок (как правило, персональный компьютер) используется для обработки и визуализации спектральных данных в большинстве современных спектральных приборов.

–  –  –

В свою очередь оптический блок «классического» спектрального прибора может иметь в своем составе элементы, представленные на Рисунок 1.2. Основным элементом, присутствующим в любом таком приборе является устройство разложения излучения в спектр (диспергирующий элемент).

–  –  –

Рисунок 1.2 – Структурная схема оптического блока спектрального прибора В зависимости от типа устройства разложения излучения в спектр некоторые компоненты оптического блока могут отсутствовать.

Так, например, оптический блок призменного монохроматора имеет коллиматорный и фокусирующий объективы, а спектрометр с вогнутой дифракционной решеткой их не имеет.

Монохроматор имеет выходную щель для выделения исследуемого спектрального интервала из всего спектра, а полихроматор регистрирует весь диапазон и в выходной щели не нуждается. В некоторых случаях оптический блок содержит одно или несколько зеркал для изменения направления распространения излучения, как, например, в популярной схеме Черни-Тернера.

–  –  –

Спектральные приборы по способу регистрации излучения делятся на [22]:

1. спектроскопы при визуальной регистрации излучения;

2. спектрографы при регистрации излучения фотографическим способом;

3. спектрометры при регистрации излучения фотоэлектрическим, или другим твердотельным приемником оптического излучения.

Спектроскопы сейчас можно встретить только в школах на уроках физики.

Для научных и лабораторных исследований приборы данного типа в настоящее время не применяются ввиду очевидных недостатков [23]:

спектральный диапазон ограничен чувствительностью глаза человека;

регистрация интенсивности отдельных спектральных линий субъективна, что приводит к значительным ошибкам;

для определения спектральных линий требуется их визуальное сравнение с эталоном, что значительно увеличивает трудоемкость измерений и повышает риск ошибки.

Спектрографы получили широкое распространение в качестве лабораторного оборудования для эмиссионного анализа в силу простоты конструкции [24], однако и они имеют свои недостатки:

фотографический метод регистрации излучения требует дорогостоящих расходных материалов и соответствующего оборудования для проявления фотопластинок;

процесс регистрации занимает продолжительное время, что в некоторых случаях неприемлемо, например, при оперативном анализе сплавов металлов в процессе плавки;

процесс расшифровки спектра достаточно трудоемок и требует высокой квалификации персонала.

Все эти недостатки привели к тому, что спектрографы также практически перестали использоваться, а существующий парк приборов был переведен на фотоэлектрические системы регистрации излучения путем замены фотопластинок на фотоэлектрические кассеты с многоэлементными фотоприемниками [25].

В настоящее время наибольшее распространение получили спектрометры (спектрофотометры) с электронной системой регистрации оптического излучения. Приборы данного типа имеют неоспоримые преимущества перед другими типами спектральных приборов:

динамический диапазон электронной системы регистрации многократно превышает фотографический метод;

чувствительность современных фотоприемников позволяет регистрировать очень слабые потоки излучения;

электронная система регистрации позволяет автоматизировать многие операции по анализу спектральных данных;

обширные базы спектральных данных позволяют существенно сократить время анализа;

человеческий фактор перестал быть определяющим, что позволяет существенно снизить риск ошибки и поручить анализ менее квалифицированному персоналу.

1.4.2. Тип устройства разложения излучения в спектр

Спектральные приборы по типу устройства разложения излучения в спектр делятся на:

призменные;

дифракционные;

интерференционные;

фильтровые.

В призменных приборах разложение излучения в спектр по длинам волн или по частотам осуществляется за счет дисперсии показателя преломления в стекле призмы. Призменные спектральные приборы появились самыми первыми и достаточно долго были единственными, до появления дифракционных решеток.

Недостатки призменных спектральных приборов [26]:

фокальная поверхность имеет достаточно сложную форму, для коррекции которой требуются дополнительные оптические элементы;

призменный спектрометр имеет нелинейную угловую дисперсию. В результате разрешение прибора меняется в пределах рабочего диапазона, а калибровка усложняется;

довольно узкий спектральный диапазоне работы отдельных призм, в результате на каждую спектральную область требуется своя призма;

В спектральных приборах с дифракционными решетками спектр образуется за счет дифракции излучения на периодически повторяющихся элементах дифракционных решеток. Спектрометры с дифракционной решеткой обладают целым рядом преимуществ:

по сравнению с призменными спектрометрами имеют значительно более высокую разрешающую способность;

дифракционная решетка как диспергирующий элемент может иметь большую площадью, что позволяет получить еще большую разрешающую способность;

дисперсия прибора с дифракционной решеткой линейна, что упрощает калибровку и обеспечивает одинаковое разрешение во всем рабочем диапазоне;

изменяя шаг штрихов решетки можно менять соотношение между спектральным диапазоном и разрешением.

Однако имеются и недостаток – спектрометр с дифракционной решеткой имеет несколько порядков интерференции, в результате чего происходит наложение высоких порядков на рабочий порядок интерференции. В настоящее время большинство спектральных приборов строятся на основе дифракционных решеток.

Интерференционными спектральными приборами называются приборы, у которых для анализа спектрального распределения излучения используется интерференция световых волн. В таких приборах регистрируется общий световой поток, который затем обрабатывается специализированным программным обеспечением с использованием преобразования Фурье. В таких приборах, как правило, используется интерферометры Майкельсона [27] а разность хода лучей для получения интерферограммы задается путем перемещения зеркал.

Большинство интерференционных спектральных приборов — это Фурье спектрометры. Кроме того, прогресс в технологии микроэлектроники привел к появлению нового класса компактных интерференционных спектрометров на волноводных решетках AWG (Arrayed Waveguide Gratings) [28], работающих на принципах интерференции в волноводах микронного размера.

Преимуществами таких приборов являются высокое разрешение, большая светосила более высокое соотношение сигнал/шум, чем в дифракционных или призменных приборах, поскольку в каждый момент времени регистрируется весь спектр. Интерференционные спектральные приборы используются, в основном, при анализе спектров ИК диапазона, где они имеют неоспоримые преимущества по сравнению с дисперсионными приборами. Прогресс в производстве полупроводниковых микромеханических элементов (MEMS) позволил фирме Neospectra создать интерферометр Майкельсона внутри интегральной схемы SWS62221, а Фурье спектрометр со спектральным диапазоном 1000-2500 нм размером с ладонь, что даже меньше большинства малогабаритных дисперсионных приборов [29].

В фильтровых спектральных приборах используется один или несколько светофильтров, выделяющих необходимую длину волны, либо спектральную область. Чаще всего в таких приборах используются достаточно узкополосные интерференционные, либо интерференционно-поляризационные фильтры. Самые простые фильтровые спектральные приборы — это колориметры с тремя фотоприемниками, имеющими фильтры, нормированные на спектральную кривую чувствительности глаза человека. Фильтровые спектральные приборы используется в измерителях светопропускания стекол автомобилей, медицинских фотометрах [30] и некоторых других устройствах.

Преимуществом фильтровых спектральных приборов является высокая светосила при относительно небольших габаритах. Недостатком такого рода приборов является невозможность оперативной перестройки, поскольку измеряемые спектральные линии определяются установленными светофильтрами, а их общее количество невелико.

1.4.3. Количество одновременно регистрируемых спектральных линий

Возможность одновременной регистрации нескольких спектральных линий позволяет не только повысить скорость обработки результатов измерений, но и корректно сравнить интенсивности разных линий. Спектральные приборы по количеству одновременно регистрируемых спектральных линий делятся на:

монохроматоры, выделяющие узкую спектральную область (одну спектральную линию);

полихроматоры, выделяющие одновременно несколько узких областей спектра.

Монохроматоры позволяют регистрировать только ту спектральную линию, на которую они настроены. Для перестройки на другую линию, либо сканирования спектрального диапазона требуется механический поворот диспергирующего элемента, осуществляемый автоматически, либо вручную. Монохроматоры могут быть как самостоятельными спектральными приборами, предназначенными для регистрации энергии выбранной спектральной линии, так и частью более сложных приборов. Например, монохроматоры используются в качестве перестраиваемых узкополосных спектральных фильтров.

В монохроматорах используются дискретные приемники оптического излучения, такие как фотоэлектронные умножители или фотодиоды, что позволяет получить высокую чувствительность и большой динамический диапазон измерений. К недостаткам монохроматоров как измерительных приборов можно отнести возможность регистрации одномоментно только одной спектральной линии. В результате для регистрации некоторого спектрального диапазона требуется достаточно большое время, и если за время измерения энергия регистрируемого излучения меняется, то полученный спектр будет иметь неправильное распределение по длинам волн.

В отличие от монохроматоров полихроматоры не только выделяют, но и одновременно регистрируют множество спектральных линий в заданном диапазоне. Такие приборы также называют многоканальными спектрометрами.

Первыми полихроматорами были спектрометры с регистрацией спектра на фотопластинке.

Большинство современных спектральных приборов являются полихроматорами и в них используются многоэлементные фотоприемники.

1.4.4. Способ взаимодействия с исследуемым объектом

Спектральные приборы регистрируют спектры:

отражения;

пропускания;

излучения.

Спектры отражения используются для исследования непрозрачных объектов.

Наиболее часто они применяются в колориметрии – измерении цвета, например, в полиграфии. Спектры пропускания в основном используются для анализа прозрачных и полупрозрачных объектов, например, жидкостей и газов. Анализ спектров излучения используются при изучении свойств источников излучения, например, светоизлучающих диодов (СИД), а также в эмиссионной спектроскопии.

1.4.5. Назначение

Спектральные приборы делятся на [31]:

эмиссионные, в которых производится регистрация спектров излучения атомов, ионов или молекул;



Pages:   || 2 | 3 | 4 | 5 |   ...   | 8 |
 
Похожие работы:

«Пронин Игорь Александрович ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ИЕРАРХИЧЕСКИХ НАНОСТРУКТУР ДЛЯ СЕНСОРНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Специальность: 05.27.06 – Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники; 05.27.01 – Твердотельная электроника,...»

«БАЯНОВ Владимир Андреевич КИНЕТИКА ОБРАЗОВАНИЯ ГЕРМАНОМОЛИБДЕНОВОГО ГЕТЕРОПОЛИАНИОНА В ВОДНЫХ РАСТВОРАХ Специальность 02.00.04 – физическая химия Диссертация на соискание ученой степени кандидата химических наук Научный руководитель: кандидат химических наук, доцент О.В. Рахимова Санкт-Петербург 2015 ОГЛАВЛЕНИЕ ВВЕДЕНИЕ ГЛАВА 1. ГЕТЕРОПОЛИСОЕДИНЕНИЯ: ТИПЫ СТРУКТУР И ОБЛАСТИ...»

«Горелая Алина Владимировна ОПТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЗАИМНОГО ПОЛОЖЕНИЯ ОБЪЕКТОВ В ЗАДАЧАХ ДИАГНОСТИКИ РЕЛЬСОВОГО ПУТИ 05.11.16 Информационно-измерительные и управляющие системы Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук Научный руководитель: доктор физ.-мат. наук, доцент Венедиктов В.Ю. СанктПетербург ОГЛАВЛЕНИЕ...»

«Боровицкий Дмитрий Сергеевич Выбор сигнальных форматов для перспективных СРНС и их гидроакустических функциональных дополнений Специальность 05.12.14 «Радиолокация и радионавигация» Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук Научный руководитель – доктор технических наук, профессор Ипатов Валерий Павлович Санкт-Петербург – 2015 СОДЕРЖАНИЕ СПИСОК...»

«Асташенкова Ольга Николаевна ФИЗИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ УПРАВЛЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИМИ НАПРЯЖЕНИЯМИ В ТОНКОПЛЁНОЧНЫХ КОМПОЗИЦИЯХ МИКРОМЕХАНИКИ Специальность: 05.27.06 – Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук Научный руководитель доктор технических наук...»

«Нгуен Нам Минь ИССЛЕДОВАНИЕ И РАЗРАБОТКА ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ СРЕДСТВ САПР БИОМЕХАНИЧЕСКИХ ОБЪЕКТОВ Специальность: 05.13.12 – Системы автоматизации проектирования (промышленность) Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук Научный руководитель – доктор технических наук, профессор Г.Д. Дмитревич Санкт-Петербург – 2015 ОГЛАВЛЕНИЕ ВВЕДЕНИЕ 1....»

«Орехов Дмитрий Львович РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ГЕТЕРОСТРУКТУРНЫХ СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА КРИСТАЛЛИЧЕСКОМ КРЕМНИИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПРОМЫШЛЕННЫХ РЕАКТОРОВ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ Специальность: 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов...»

«Веденина Анна Сергеевна МЕТОД И ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА ДЛЯ СКРИНИНГОВОЙ ОЦЕНКИ СТРУКТУРНОГО И ФУНКЦИОНАЛЬНОГО СОСТОЯНИЯ НИЖНЕЙ КОНЕЧНОСТИ Специальность: 05.11.17 приборы, системы и изделия медицинского назначения Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических...»

«Саламонова Ирина Сергеевна АВТОМАТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ СПИРОГРАММ ПРИ ИСКУССТВЕННОЙ ВЕНТИЛЯЦИИ ЛЁГКИХ 05.11.17 – Приборы, системы и изделия медицинского назначения Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук Научный руководитель доктор технических наук, профессор, Немирко Анатолий Павлович Санкт-Петербург – 2014 СОДЕРЖАНИЕ ВВЕДЕНИЕ ГЛАВА 1. СПИРОГРАММА....»

«Кершис Сергей Александрович ФАЗОВЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МНОГОПОЛОСНЫХ ФИЛЬТРОВ И ДИПЛЕКСЕРОВ СВЧ И ПОИСК ПЕРСПЕКТИВНЫХ СХЕМНО-КОНСТРУКТИВНЫХ РЕШЕНИЙ ИХ РЕАЛИЗАЦИИ Специальности: 05.12.07 – Антенны, СВЧ устройства и их технологии Диссертация на...»









 
2016 www.konf.x-pdf.ru - «Бесплатная электронная библиотека - Авторефераты, диссертации, конференции»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.